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氣體管道系統(tǒng)中氣體與管道的關(guān)系：

近年來以大規(guī)模集成電路為代表的微電子產(chǎn)品生產(chǎn)對高純氣體的純度和雜質(zhì)含量的日益嚴(yán)格的要求，使高純氣體的配管技術(shù)日益受到關(guān)注和重視。以下針對高純氣體輸送從選材到施工以及驗(yàn)收、日常管理作個簡單的概述。

常見氣體的種類

電子行業(yè)中常見氣體的分類：

普通氣體，也稱大宗氣體 (Bulk gas )：氫氣(H2)、氮?dú)?N2)、氧氣(O2)、氬氣(A2)等

特種氣體(Specialty gas )主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6??等等

特殊氣體的種類一般可分為腐蝕性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等，一般常用的半導(dǎo)體氣體分類如下：

(一)、腐蝕性 / 毒性：HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 ?等

(二)、可燃性：H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO?等

(三)、助燃性：O2、Cl2、N2O、NF3?等

(四)、惰性：N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He?等

半導(dǎo)體氣體很多是對人體有害。特別是其中有些氣體如SiH4的自燃性，只要一泄漏就會與空氣中的氧氣起劇烈反應(yīng)，開始燃燒;還有AsH3的劇毒性，任何些微的泄漏都可能造成人員生命的危害，也就是因?yàn)檫@些顯而易見的危險，所以對于系統(tǒng)設(shè)計安全性的要求就特別高。

高純氣配管技術(shù)是高純氣體管道系統(tǒng)的重要組成部分，是能否將合符要求的高純氣體送至用氣點(diǎn)仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵技術(shù);所謂高純氣配管技術(shù)包括系統(tǒng)的正確設(shè)計、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗(yàn)測試等內(nèi)容。

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